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阿斯麥解釋荷蘭最新出口管制:并非所有浸潤式 DUV 設備都受限 世界速讀

2023-06-30 20:20:54來源:ZAKER財經  

財聯社 6 月 30 日訊(編輯 夏軍雄)當地時間周五(6 月 30 日),荷蘭政府宣布了限制某些先進半導體設備出口的新規定,這些規定將于 9 月 1 日生效。

具體而言,荷蘭政府將要求先進芯片制造設備的公司在出口之前須獲得許可證。

荷蘭外貿與發展合作大臣莉謝 · 施賴納馬赫爾表示,只有非常有限的公司和產品型號會受到影響。


(資料圖片僅供參考)

盡管荷蘭政府并未直接點出會受到限制的公司,但外界都明白這是在限制光刻機巨頭阿斯麥(ASML)。

荷蘭政府的消息傳出之后,阿斯麥在其官網發表聲明稱,該公司未來出口其先進的浸潤式 DUV 光刻系統(即 TWINSCAN NXT:2000i 及后續浸潤式系統)時,將需要向荷蘭政府申請出口許可證。而荷蘭政府將決定是否批準或拒絕所需的出口許可證,并就任何適用的條件向阿斯麥提供進一步的細節。

阿斯麥強調,該公司的 EUV 系統的銷售此前已經受到限制。

阿斯麥同時表示,預計上述措施不會對其 2023 年財務前景或 2022 年 11 月投資者日期間傳達的長期情景產生重大影響。

有一款 DUV 光刻機并不受限

近年來,美國在對華政策上實行脅迫外交,多次施壓其盟國限制如光刻機等高科技產品等出口。

自 2018 年以來,在美國的壓力之下,荷蘭政府一直禁止阿斯麥向中國出口其最先進的極紫外線光刻機(EUV),但仍可以銷售上一代的深紫外線光刻機(DUV)。然而,美國近階段又希望進一步打壓中國芯片行業,將 DUV 也納入禁售范圍。

荷蘭政府早在 3 月就表示,考慮把光刻機的出口管制范圍擴大到 DUV。

根據阿斯麥官網提供的信息,該公司目前在售的主流浸沒式 DUV 光刻機產品共有三款,分別是:TWINSCAN NXT:1980Di、TWINSCAN NXT:2000i、TWINSCAN NXT:2050i。

(來源:官網)

阿斯麥 3 月曾表示,預計 2000i 和 2050i 這兩款產品會受到荷蘭政府的出口限制。再對比阿斯麥今天的回應來看,TWINSCAN NXT:1980Di 這款 DUV 光刻機并不在限制范圍內。

根據官網介紹,TWINSCAN NXT:1980Di 的分辨率可以達到≤ 38nm,每小時可以至少生產 275 片晶圓。

在實際生產和使用中,通過多重曝光,TWINSCAN NXT:1980Di 依然可以支持到 7nm 左右的工藝生產,當然相比于更先進的光刻機型號,其在生產先進工藝時的步驟將更為復雜,成本將更高,良率可能也會有損失。

全球晶圓廠在使用 1980Di 光刻機型號時,大多是生產 14nm 及以上工藝的芯片,很少去生產 14nm 以下的工藝。但可以肯定的是,用這一臺 TWINSCAN NXT:1980Di 光刻機,生產 28nm、14nm 仍能完全滿足需要。這預示著目前就已大量采用 NXT:1980Di 進行成熟制程制造的晶圓廠將不會受到明顯影響,但在先進工藝方面,可能難以完全滿足需求。

中國外交部回應

在 6 月 30 日舉行的中國外交部例行記者會上,外交部發言人毛寧在回應記者相關提問時表示,中方堅決反對美方泛化國家安全概念,濫用出口管制,以各種借口拉攏脅迫其他國家對華搞科技封鎖,以行政手段干預企業之間的正常經貿往來,嚴重破壞市場規則和國際經貿秩序,沖擊全球產供鏈的穩定,不符合任何一方的利益。

她指出,中方將密切關注有關動向,堅決維護自身的合法權益。

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責任編輯:hnmd003

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